| 序号 |
检测点 |
测量组分 |
选用量程 |
仪器选项 |
| 1 |
净化后原料空气 |
微O2 |
0-10ppm/0-100ppm |
SR-2039系列 |
| 2 |
下液塔 |
O2 |
20-40% |
SR-2030系列 |
| CO2 |
0-500% |
SR-2009系列 |
| 3 |
主冷气或储槽 |
氢类 |
0-5%/0-10% |
|
| 4 |
下塔污氮 |
O2 |
0-10ppm/0-100ppm |
SR-2030系列 |
| 5 |
氧压机后产品 |
氮中微O2 |
0-20% |
SR-2039系列 |
| 纯O2 |
99-100%/98-100% |
SR-2030系列 |
| 6 |
氩馏份或回流氢 |
Ar |
0-15% |
|
| O2 |
0-5%/0-10% |
SR-2030系列 |
| 7 |
粗氢 |
Ar |
80-100% |
|
| 微O2 |
0-10ppm |
SR-2030系列 |
| 8 |
工业氢 |
微HO2 |
0-3% |
|
| H2 |
99-100%/98-100% |
SR-2030系列 |
| 7 |
粗氢 |
Ar |
80-100% |
|
| 微O2 |
0-10ppm |
SR-2030系列 |
| 9 |
产品气体 |
氮中微O2 |
0-20% |
SR-2030系列 |
| 纯O2 |
99-100%/98-100% |
SR-2030系列 |
| 纯氩中微O2 |
1-10ppm |
SR-2039系列 |
|